新型电子级多晶硅还原炉钟罩清洗系统

多晶硅材料是以工业硅为原料经一系列物理化学反应提纯后达到一定纯度的电子材料，其具有高纯度的特点，在整个生产过程中，对产品质量的控制要求很高。在竞争激烈市场价格越来越低的态势下，更好的压缩成本，也是多晶硅生产厂家关注的重点。

多晶硅生产多采用改良西门子法，也是用来生产半导体级多晶硅的主要工艺方法。还原炉是改良西门子法的核心设备，多晶硅的硅棒就是在其中“生长”出来的，因此还原炉的沉积环境的洁净度特别关键。


在多晶硅的生产设备中，还原炉运行好坏直接影响多晶硅质量和生产成本，一般为降低耗电和成本，采取调整工艺参数、提供进料温度、提高冷却水温度、清洗钟罩等方法。一套好的钟罩清洗装置在多晶硅生产中是非常必要的，因为钟罩清洗的光洁度和清洁度如果不够，会导致硅芯击不穿或产品质量污染。

目前多晶硅钟罩的清洗方式多种多样，有高压清洗、化学溶剂低压清洗、机械抛光等。多晶硅还原炉清洗系统始于2009年，德高洁清洁设备有限公司是国内第一家研发设计制造并获得实用新型专利的。目前其设备应用也是覆盖了国内90%的多晶硅企业，为多晶硅行业提供了几十套还原炉清洗系统。

经过多年来客户的实际应用和需求，通过总结借鉴国内外钟罩及其它罐类清洗烘干经验，对污染和洁净的概念和控制有了更全面的认识。德高洁充分发挥高压水清洗和吸除尘的技术优势，研发半导体级多晶硅还原炉钟罩清洗系统，实现了钟罩的全自动清洗和烘干操作。

1、设备性能可靠

德高洁电子级多晶硅钟罩清洗系统性能可靠，核心部件、元件和附件原装进口。

2、自动化程度高

自动化程度高，用PLC+触摸屏柔性自动控制系统，能实现对还原炉钟罩的自动清洗和烘干，清洗烘干时间、温度、清洗、漂洗等工艺参数可以根据需要自行调整设定，同时具有半自动或手动功能。

一次吊装在一个工作台上完成全部清洗、烘干过程，可实现远程对楼下设备的控制和主要参数监控。

3、安全环保

全密闭式清洗烘干系统，使污染物(废气、废水等)在受控的条件下，按设计出口排放，基本消除了对现场及操作人员的污染。

德高洁多晶硅钟罩清洗系统按防爆要求设计，加多处安全互锁功能(楼上、楼下操作，缺水保护，压力水超压保护、漏电保护，水风工作互锁等)。

4、适应范围广

可以在一套系统实现多种型号钟罩的清洗烘干，现在已经使用的有四种。

升级后的多晶硅还原炉钟罩清洗系统可根据不同的钟罩、不同车间厂房不同能源条件，提供个性化设计，节省了人力物力，大大降低劳动强度，这也对提高多晶硅品质产生重要意义。