多晶硅正从光伏迈向电子级 还原炉清洗不可忽视

多晶硅，作为光伏与半导体行业的基础命脉，其自身品质与成本状况极大程度地决定了行业的发展水平。集成电路用的电子级硅材料几乎是目前工业领域纯度要求最高的产品，纯度要求达到99.99999999999%，即11个9以上，而普通太阳能级多晶硅材料纯度通常在5～8个9左右，国内多晶硅正由光伏迈向电子级。
 
国际咨询机构IBS发布的数据显示，从2014年起，中国集成电路市场规模在全球占比超过50%，预计到2020年超过60%。根据《国家集成电路产业发展推进纲要》明确提出的发展目标，2018年中国集成电路产业增长22.0%，产业规模达到6400亿元。到2020年将全面达到全国集成电路发展“十三五”规划的目标，产业销售规模达到9300亿元。

在多晶硅的生产过程中，一些物料和污物会粘附在内壁、视孔镜、底部法兰上，增加反应生成过程中的能耗，增加生产成本，更加影响多晶硅的质量，影响了多晶硅的纯度。为了保证多晶硅还原炉表面的洁净度，需要对还原炉清洗和烘干等工作。
 
德高洁公司凭借多年来对自动化清洗系统设计、制造的成熟经验和能力，早在2009年就研发出多晶硅还原炉清洗系统，经过多年来客户的实际应用和需求，通过总结借鉴国内外经验，德高洁对污染和洁净的概念和控制有了更全面的认识，充分发挥高压水清洗和吸除尘的技术优势，进一步研制出电子级多晶硅还原炉钟罩清洗系统。
 
德高洁电子级多晶硅钟罩清洗系统自动化程度高，用PLC+触摸屏柔性自动控制系统，能实现对还原炉钟罩的自动清洗和烘干，清洗烘干时间、温度、清洗、漂洗等工艺参数可以根据需要自行调整设定，同时具有半自动或手动功能。一次吊装在一个工作台上完成全部清洗、烘干过程，可实现远程对楼下设备的控制和主要参数监控。

全密闭式清洗烘干系统，使污染物(废气、废水等)在受控的条件下，按设计出口排放，基本消除了对现场及操作人员的污染。核心部件、元件和附件原装进口保证了电子级多晶硅钟罩清洗系统性能的可靠，可以在一套系统实现多种型号钟罩的清洗烘干。目前，德高洁在多晶硅还原炉清洗行业已拥有国内90%的用户，为多晶硅行业提供了几十套还原炉清洗系统。