改良西门子法多晶硅还原炉钟罩自动化清洗系统

随着信息化技术和太阳能光伏产业的迅速发展，多晶硅作为集成电路和太阳能光伏发电的基础原材料，在国内外市场的需求量不断增加，简单来说，多晶硅可以用于制备单晶硅，其深加工产品广泛用于半导体工业中，作为人工智能、自动控制、信息处理、光硅转换等器件的基础材料。同时，由于能源危机和环境保护的要求，全球正积极开发利用可再生能源，大阳能光伏发电作为可再生资源之一备受关注，突显出着多晶硅在新能源中的重要性；由于多晶硅产品需求的多样化，对多晶硅纯度的要求也大不相同，目前多晶硅可以分为太阳能级多晶硅（光伏发电）、电子级多晶硅（半导体集成电路）、区熔级多晶硅（电子级多晶硅的更高端产品）。

改良西门子法被公认为是多晶硅提纯可靠成熟的工艺技术，同时也已被国内外绝大多数厂商采用，多晶硅还原炉作为改良西门子法生产多晶硅的核心设备，决定了系统产能、能耗、环保指标以及可靠性、安全性的关键因素。还原炉在生产过程中，由于还原炉内反应温度较高，每一轮沉积反应后，在还原炉钟罩内壁粘附着一些杂质，根据多晶硅生产原理及实际生产情况分析，钟罩表面主要污染物为无定形硅粉，其次为多晶硅颗粒物、氯硅烷水解物及部分粉尘杂质，这些杂质不仅影响多晶硅的品质，还使钟罩内表面的热量反射减少，增加电耗，因此，为保障还原炉钟罩表面的洁净度，必须对还原炉钟罩进行清洗及烘干作业。
 
以往，行业内普遍采用的方法是通过人工加化学药剂的方式对还原炉钟罩进行清洗，清洗过程中，人工穿戴好防护服，手持高压水枪喷射到内壁上对附着物依次进行纯水清洗和清洗液清洗，对部分清洗不干净的部位用酒精擦拭，然后用高温压缩空气进行烘干。这种清洗方式，存在清洗效果不彻底、效率低下、浪费人力的缺陷。并且，还原钟罩内会有各种有毒有害气体溢出或残留，给清理人员带来健康和安全风险，清洗时，稍有不慎化学清洗机容易溅到身上造成伤害。

为解决传统人工清洗方式带来的诸多危害，德高洁自主研发并历经四代改进升级还原炉钟罩高压水自动化清洗系统，系统由低压热水清洗动力装置、三维洗罐器、旋转和升降执行机构、清洗工作台、万级净化干燥系统、循环过滤系统、控制装置、微负压系统、清洗工作台、电气控制系统等组成，能够代替人工实现还原炉钟罩的全自动清洗和烘干操作。解决还原炉钟罩清理过程中存在的效率低、清理效果差、安全隐患等问题，实现自动化高效清理的效果。

德高洁多晶硅还原炉钟罩清洗系统是以高压清洗机为主机，以高压水射流为动力的自驱动三维旋转喷头形成360°的网状高压水柱喷射表面，从而完成钟罩内部表面的水力扫射，并采用专用清洗剂等为主要清洗液，先用脱盐水预清洗再依次用溶液、脱盐水漂洗，之后再采用高纯水冲洗，从而完成清洗过程，清洗工艺完成后，采用经过纯净空气(万级)烘干加热，达到工艺要求的干燥度。
 
德高洁多晶硅还原炉钟罩清洗系统自动化程度高，用PLC+触摸屏柔性自动控制系统，能实现对还原炉钟罩的自动清洗和烘干，清洗烘干时间、温度、清洗、漂洗等工艺参数可以根据需要自行调整设定，同时具有半自动或手动功能，一次吊装在一个工作台上完成全部清洗、烘干过程，可实现远程对楼下设备的控制和主要参数监控。

全密闭式清洗烘干系统，有效防止清洗时高压水射流喷射出钟罩外，使污染物(废气、废水等)在受控的条件下，按设计出口排放，有效避免人员安全隐患及环境污染事故，系统核心部件均为原装进口，采用欧洲标准，保证了多晶硅钟罩清洗系统性能的可靠，可以在一套系统实现多种型号钟罩的清洗烘干。

为了满足多晶硅日益激增的市场需求，保障多晶硅生产质量，多晶硅企业除了在生产能力和技术上有所提升之外，对多晶硅生产设备的洁净度也不可忽视，如何实现多晶硅还原炉钟罩的高质量清洗，德高洁多晶硅还原炉钟罩自动化系统一直“靠实力说话”，凭借专业团队、可靠硬件设备、合理工艺、自动化技术等多方面结合，为用户提供一套安全、环保、高效、高质量的多晶硅还原炉钟罩自动化清洗解决方案。目前，德高洁在多晶硅还原炉清洗行业已拥有国内90%的用户，为多晶硅行业提供了几十套还原炉清洗系统。