德高洁：大型多晶硅还原炉钟罩内部“去人化环保化”清洗设备

多晶硅是微电子行业、半导体行业、光伏行业的基础材料，在多晶硅生产过程中，还原炉钟罩表面上会沉积一定厚度的多晶硅副产物、硅粉等，在下一炉生产时会影响还原炉钟罩的反射效率、产品质量，所以多晶硅棒生长完成并从还原炉内拆除完之后，需要对还原炉钟罩内壁进行清洗烘干，保证其内部的干燥洁净。

在国内多晶硅厂家生产初期，还原炉钟罩清洗的主要方式是人工清洗，将还原炉钟罩放到固定位置后，清洗人员配好清洗液，穿戴好全套的防护用品后，用高压水枪喷射到内壁上对附着物依次进行纯水清洗和清洗液清洗，对部分清洗不干净的部位用酒精擦拭，再用高温压缩空气进行烘干。

由于每一个生产周期结束后均需要对还原炉钟罩进行清洗，为保证多晶硅产品的品质，对还原炉钟罩内表面的洁净要求十分苛刻，而对于大型还原炉钟罩来说，采用人工清洗存在清洗不干净、清洗的一致性也难以保证、浪费人力的缺陷，且人工配碱和喷洗不安全，稍有不慎碱液容易溅到身上造成伤害，如何减少人工参与，实现更安全、环保的清洗方式成为多晶硅还原炉钟罩内部清洗的难题。

德高洁多晶硅还原炉钟罩自动化清洗系统，由高压热水清洗系统、热风净化烘干系统、控制系统等组成，系统操作简单，自动化程度高，整个清洗工艺包含：还原炉钟罩到位→预清洗→清洗剂(碱液)清洗→漂洗→高压纯水冲洗→净化热空气干燥→常温干燥→钟罩吊走，全程仅需人工辅助作业，解决传统人工清洗存在不安全，不环保，清洗效果差，自动化程度低，效率不高的缺陷。
 
系统采用密闭式高压水射流清洗系统，清洗时三维清洗喷头由高压热水动力装置射出高压水流作为驱动动力，对钟罩表面形成360度网状喷射表面，三维旋转喷头自由升降，因此可以全面的对钟罩进行喷射清洗，清洗时用专用清洗剂等为主要清洗液，用纯水(去离子水或叫脱盐水)漂洗，最后用高纯水冲洗完成清洗过程，能够保证清洗的一致性和均匀性。

全密闭式清洗烘干方式使清洗安全可靠，不污染环境，保护人身健康不受危害，清洗后用经过三级净化(10万级)的纯净空气，梯级加热，保证烘干完的钟罩不再结露，可直接进入生产作业，有效提高自动化程度和生产效率。

洗涤后的含酸或碱液废水、废渣，排放到需方指定处，由需方自行处理，配排污水(池、槽)沟；清洗和烘干产生的废气做室外排空排放。系统采用PLC+触摸屏柔性自动控制系统，实现对还原炉钟罩的自动清洗和烘干同时具有半自动或手动功能，可以在一套系统实现多种型号还原炉钟罩的清洗烘干。
 
德高洁是一家专业清洁环保设备供应商，在环保除尘、高压清洗机、净化成套装备、工业设备清洁领域已积累了近三十年的业内宝贵经验，公司拥有20余人研发团队，长期服务于国企、军工、外资、上市公司等500强企业，针对多晶硅还原炉钟罩的清洗，德高洁可根据使用方不同还原炉钟罩、车间厂房的情况，能源条件不同，提供个性化设计，目前，德高洁在多晶硅还原炉清洗行业已拥有国内90%的用户，为多晶硅行业提供了上百套还原炉清洗系统，并在北京、上海、深圳、成都、西安、武汉均设有分公司及办事处，服务体系网络健全，零配件充足。