闷声干大事!德高洁开启电子级多晶硅还原炉钟罩清洗系统新纪元!

    时间:2023-03-06 17:05:00作者:LeeZhou来源:德高洁清洁设备分享到:QQ空间新浪微博腾讯微博人人网微信

    电子级多晶硅是我国发展集成电路产业的战略原材料,长期以来,生产技术一直由国外垄断,成为中国发展集成电路产业的瓶颈。随着国内企业的不断努力,近年来国内电子级多晶硅迎头赶上,摆脱国外进口依赖,在质量、产量、出口等方面取得不错成绩,未来,中国多晶硅生产在全球市场具有良好的发展前景。

    由于电子级多晶硅高纯度的规格,为达到生产要求,企业不仅在生产工艺、生产设备上不断升级,为确保电子级多晶硅质量不受更多外在因素影响,对生产环境也近乎达到苛刻的要求,目前电子级多晶硅生产的主流方式是西门子改良法,还原炉作为改良西门子法生产多晶硅的核心设备,是影响多晶硅生产和产能的关键因素,任何颗粒性杂质、物料等物质余留在炉内,都会对产品质量造成影响。

    在多晶硅生产过程中,多晶硅还原炉钟罩内壁会被高温混合气体烧黑,表面沉积一定厚度的多晶硅、无定型硅、高硅氯聚物等杂物,导致还原炉内表面粗糙不平等,影响生产质量、良品率低、生产成本上升、生产效率下降,所以在还原炉运行一个周期结束后,必须对还原钟罩内部进行清洗,确保电子级多晶硅在高纯环境下生产。
     
    德高洁电子级多晶硅还原炉钟罩清洗系统

    德高洁作为一家专业的环保设备供应商,早在2009年就研发出多晶硅还原炉清洗系统,并经过对客户的实际应用和需求,充分发挥高压水清洗和吸除尘的技术优势,完成了电子级多晶硅还原炉钟罩清洗系统研发,近年来,德高洁紧跟多晶硅行业生产脚步,技术也在不断升级更新,一直保持前沿清洗技术,为多晶硅厂商提供与电子级多晶硅生产技术并驾齐驱配套清洗解决方案,旨为电子级多晶硅的高纯度生产助力。

    德高洁电子级多晶硅还原炉钟罩清洗系统包括低压热水清洗动力装置、三维洗罐器、旋转和升降执行机构、清洗工作台、万级净化干燥系统、循环过滤系统、控制装置、微负压系统、清洗工作台、电气控制系统等,系统核心部件、元件和附件原装进口,在确保系统运行稳定可靠前提下,完成对电子级多晶硅还原炉钟罩的全自动清洗和烘干操作。

    系统以高压水射流为动力驱动三维洗罐器,形成360°的网状喷射表面,完成钟罩内部表面的水力扫射,用氢氧化钠溶液等为主要清洗液,用纯水漂洗,用高纯水冲洗完成清洗过程;随后用经过三级净化(10万级)的纯净空气,加热后(50~80℃)烘干加热钟罩,再逐步降温到常温,通过连续干燥,完成干燥过程。
     
    高压水清洗执行机构工作状态

    全密闭式清洗烘干系统,使污染物(废气、废水等)在受控的条件下,按设计出口排放,基本消除了对环境境污染及现场操作人员的安全隐患。系统加多处安全互锁功能(楼上、楼下操作,缺水保护,超压保护、漏电保护,水风工作互锁等),确保安全运行。

    德高洁电子级多晶硅钟罩清洗系统自动化程度高,采用PLC+触摸屏柔性自动控制系统,能实现对还原炉钟罩的自动清洗和烘干,清洗烘干时间、温度、清洗、漂洗等工艺参数可以根据需要自行调整设定,同时具有半自动或手动功能,一次吊装在一个工作台上完成全部清洗、烘干过程,可实现远程对楼下设备的控制和主要参数监控。
     
    电子级多晶硅还原炉钟罩清洗系统控制装置

    除此之外,德高洁电子级多晶硅还原炉钟罩清洗系统可根据客户需求,结合厂商使用的不同钟罩、车间厂房的情况,能源条件不同,提供个性化设计。目前,德高洁在多晶硅还原炉清洗行业已拥有国内90%的用户,为多晶硅行业提供了几十套还原炉清洗系统。

    德高洁成立于1994年,在环保除尘、净化成套装备、工业设备清洁领域已积累了近三十年的业内宝贵经验,期间自主研发并生产了一系列高压清洗机(120~2800bar)、自动化清洗系统、智能清洗爬壁机器人等,公司拥有20余人研发团队,旗下部署工艺组、技术组、质检组,实时管控产品性能、质量,并通过ISO9001质量体系认证。长期服务于国企、军工、外资、上市公司等500强企业,德高洁将继续以客户需求为基准,用现代技术、标准工艺,竭诚为客户服务。

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