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| 基本参数 | ||
| 名 称 | 订 货 编 号 | 规格和型号 |
| 绝对过滤器总成-含滤器 | VA系列适用 | |
| 绝对过滤器总成-含滤器 | IV055及以下机型适用 (PN型不适用) | |
| 绝对过滤器总成-含滤器 | IV075/090/130适用 (PN型不适用) | |
| 绝对过滤器
VA系列及IV055以下适用 |
φ352×150，精度0.3μm，99.99% | |
|
绝对过滤器 IV075、090/130机型适用 |
φ352×220，精度0.3μm，99.99% (PN型不适用) | |
| 绝对过滤器 IV185/200适用 | φ215×220，精度0.3μm，99.99%，共三个 (PN型不适用) | |
